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MMD-H50粗糙度仪

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MMD-H50粗糙度仪

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评定参数:

评定参数

Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2

测量范围:

Z轴

800μm

X轴

50mm

直线度精度:

直线度精度

0.4μm

分辨率(Z轴):

分辨率(Z轴)

0.001μm

采样数/分解能:

采样数/分解能

9600点/16bit

滤波器:

滤波器

高斯(Gaussian)滤波器(ISO11562:1996),2RC滤波器

取样长度:

取样长度

λc ╳3、4、5、6、7(1.0-17.5mm)

截止波长:

截止波长

0.25,0.8,2.5

测量速度:

测量速度

0.1mm/s,0.32mm/s,0.5mm/s

返回速度:

返回速度

(自动) 1mm/s

示值误差:

示值误差

±5%

示值稳定性:

示值稳定性

3%

测量重复性:

测量重复性

3%

图形放大倍率:

图形放大倍率

10-500000自动调整

传感器:

传感器

针尖 R=2μm钻石(测量力1mN)

R=5μm钻石(测量力4mN)