EXM100系列台式闪测仪EXW卧式闪测仪EX系列闪测仪EXM190系列光学快速测量仪EXC拼接系列光学快速测量仪EXC 4030 拼接 光学快速测量仪大视野一键式测量仪智能一键闪测仪EXP50光学轴类测量仪EXP80光学轴类测量仪光学轴类测量仪EXCELLENCE  M手动系列EXCELLENCE M手动大行程系列EXCELLENCE CNC 自动系列EXCELLENCE 3020CNC  自动测量影像仪EXCELLENCE  HG 龙门式系列EXCELLENCE  HG762 龙门自动影像仪EXCELLENCE TNC塔吊式自动影像仪二次元影像仪正置金相显微镜OP-40M研究级金相显微镜OP-50M正置金相显微镜MX-100正置金相显微镜MX-200倒置金相显微镜OPT-40M倒置金相显微镜OPT-20M半导体检查显微镜MX-3000单筒金相显微镜TJ-5000T金相显微镜超景深3D测量显微镜工具显微镜电镜能谱一体机高性价比标准版扫描电镜7000 台式扫描电子显微镜F100 热场发射扫描电子显微镜IT200 扫描电子显微镜7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜IT500HR 扫描电子显微镜7900F 热场发射扫描电子显微镜Serial Block-face SEM 3ViewD-2300/2300F 能谱仪IT500 扫描电子显微镜7200F 热场发射扫描显微镜扫描电子显微镜Z300FSC 场发射冷冻电子显微镜ARM200F原子级分辨率透射电子显微镜Z200FSC 场发射冷冻电子显微镜1400Flash 透射电子显微镜D-2300T 能谱仪05500TGP 断层扫描系统3200FS 场发射透射电子显微镜2100Plus 透射电子显微镜ARM1000 超高压透射电子显微镜F200 场发射透射电子显微镜ARM300F 透射电子显微镜透射电子显微镜台式直读光谱仪落地式直读光谱仪移动式直读光谱仪直读光谱仪SPM-9700SPM-8100FM扫描探针显微镜激光共聚焦显微镜Smartproof5共聚焦显微镜共聚焦显微镜3D显微镜Struers切割设备Struers镶样设备Struers研磨和抛光设备Struers自动清洁设备Struers制样设备Struers维氏硬度计Struers努氏硬度计Struers布氏硬度计Struers洛氏硬度计Struers硬度检测设备Optician焊接熔深检查系统Optician孔隙率测量系统Infralytic 油膜测厚仪器刀具测量系统自动端子切面分析仪一体式粗糙度轮廓仪MMD-HPG2000SV粗糙度轮廓仪MMD-HPG150粗糙度轮廓仪MMD-HPG120粗糙度轮廓仪MMD-HPG100H粗糙度轮廓仪MMD-HPG100F粗糙度轮廓仪MMI-200D一体式粗糙度轮廓仪TJ-LK-5C/6C粗糙度轮廓仪粗糙度轮廓仪螺纹测量仪粗糙度仪MMD-PG100/150PG轴承专用型轮廓仪MMD-R100系列轮廓仪MMD-R120/150轮廓仪MMD-R220/R320轮廓仪MMD-100A/100B轮廓仪MMD-120A/120B轮廓仪MMD-150A/150B轮廓仪MMD-220A/220B轮廓仪轮廓仪DTP-4000B 圆度仪DTP-4000A 圆度仪DTP-3000B 圆度仪DTP-3000A 圆度仪DTP-1000AE/1000B 圆度仪DTP-550A/550B 圆度仪DTP-7000 圆度仪DTP-6000 圆度仪DTP-5000B 圆度仪DTP-5000A 圆度仪DTP-1000CE 圆度仪DTP-1000D 圆度仪DTP-2000C 圆度仪DTP-2000D 圆度仪圆度仪CA35/65/95/125CNC系列圆柱度仪CA20/25 圆柱度仪CA30H/60H 圆柱度仪CA35/CA65 圆柱度仪CA90/CA95 圆柱度仪CA120/125 圆柱度仪圆柱度仪L-1000 手动型凸轮轴测量仪L-2000 手动型凸轮轴测量仪L-1000 全自动(CNC)凸轮轴测量仪L-2000 全自动(CNC)凸轮轴测量仪CV-500 活塞形线仪凸轮轴测量仪OLYMPUS CIX100清洁度检测系统OLYMPUS BX53M清洁度检测系统清洁度检测系统(高倍型)清洁度检测系统(低倍型)清洁度检测系统(低倍型)清洁度升级改造清洁度检测系统全自动清洁度颗粒萃取设备OPTICIAN-PA自动清洗检测制样设备半自动清洁度颗粒萃取设备OPTICIAN PU02双工位清洁度颗粒萃取设备手动清洁度颗粒萃取设备清洁度颗粒萃取设备清洁度实验室规划德国PFINDER清洗剂清洁度实验耗材机器视觉检测方案光学在线自动化检测系统在线检测系统全自动装配系统冲压检测设备非标机械设计
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SPM-9700扫描探针显微镜
  • 概述


探知未来
扫描探针显微镜(SPM)是在样品表面用微小的探针进行扫描,通过高倍率观察三维形貌和局部物理特性的显微镜总称。SPM-9700更是性能高、速度快、操作简单的新一代扫描探针显微镜。



样品交换时也可保持激光稳定照射悬臂。照射稳定性优异,分析时间也大幅度缩短。



可从不同角度放大拉伸图像进行确认。鼠标操作简单,更可进行3D断面形状分析。



按照操作指南指导操作顺序,使用导航功能直接锁定观察位置,实现了SPM的快速简便的观察



具备丰富的测定模式和优异的扩展性,可对不同硬度、不同导电性能等各式样品进行观察分析。


 控制气氛扫描探针显微镜 WET-SPM
可以控制样品和周边环境,在可控气氛下进行样品处理,并直接进行SPM观察。

选配系统具有温度湿度控制单元、样品加热冷却单元、样品加热单元、吹起单元。
 粒度分析软件

从图像数据中选取复数颗粒,对每一颗粒进行特征量的计算,并进行分析、显示,以及及进行统计处理。



 超微小硬度计复合型SPM系统SPM+TriboScope(TriboScope为美国Hysitron公司产品) 可以进行极薄膜的硬度试验和压痕试验。
 微小部热分析试验仪器复合型SPM系统 SPM+nano-TA2(nano-TA2为Anasys Instruments公司产品)可以进行样品表面的三维形貌观察和点的热分析。



观察模式标准

接触模式
动态模式
相位模式
水平力模式(LFM)
力调制模式
矢量扫描模式

选购件磁力(MFM)模式)
电流模式
表面电位(KFM)模式
分辨率XY0.2 nm
Z0.01 nm
AFM头部位移监测系统光源/光杠杆/检测器
光源激光二极管(On/Off均可)
更换样品无需调整光路
检测器光敏二极管
扫描器驱动元件管状压电元件
最大扫描范围
(X*Y*Z)
30μm×30μm×5μm (标准)
125μm×125μm×7μm (选购)
55μm×55μm×13μm (选购)
2.5μm×2.5μm×0.3μm (选购)
样品台最大样品形状φ24mm×8mm
样品装载方式头部滑动机构
悬臂安装状态下可直接装载样品
样品固定方式磁性固定
Z轴驱动机构驱近方式全自动驱近
最大可驱近范围10mm
信号显示板显示量检测器的总入射光量(数字显示)
减震机构减震台SPM单元内置
光学显微镜观察方式分束器滑动机构
专用风挡方式无需或者使用气氛控制腔体
气氛控制方式无需改造SPM单元可直接导入气氛腔体


头部滑动机构   高稳定性&高速分析处理

光杠杆系统和悬臂合为一体的头部机构,仅通过整体滑动设置即可实现样品更换。激光连续照射,维持高稳定性。无需调整光轴中断激光照射,从而缩短分析时间。

高稳定性
维持高刚性,光杠杆系统可作为一体滑动

高速分析处理
维持高刚性,成功地开放了样品周围的空间

高稳定性
·样品交换式也可保持激光稳定照射悬臂
·不受震动、声音和外界影响,无需专门的风挡
·内置减震器

SPM-9700   高稳定性的秘诀
维持高稳定性的构造 –不同激光照射方式下的稳定性比较-

高速分析处理
·无需拆除悬臂架即可进行样品交换。
·在SPM观测时,也可接触样品。
·无论样品的厚薄,可自动驱近到最适宜的观测位置。

SPM-9700 高速分析处理的秘诀
优异的操作性能   -样品更换的分析处理比较-


SPM-9700仅用鼠标即可实现旋转、放大缩小、Z轴倍率的自由变化,调节图像角度和倍率。更有将高度信息和其他物理信息重合显示的质感功能和3D断面形状分析功能,由此实现高度分析,提高图像确认的效率。

鼠标操作即可实现丰富的3D图像显示

放大缩小

旋转

Z轴倍率变化


质感功能
能够将高度信息和其它的物理性信息重合显示。两者关系也可明确显示。

3D断面形状分析
能够在3D显示时进行断面形状分析。质感功能显示物理性信息时,也可在同一位置分别显示各种各样的断面形状,并进行分析。

从观察到分析实现无拘无束的可操作性

从在线观察到离线分析采用无界限约束的新界面(GUI)设计,实现了从观察操作到观察位置、结果分析的简单便捷操作。


操作简单明确
从启动到观察、分析,均无复杂的设定,轻松点击鼠标即可进行操作。


在管理画面上选择观察模式。

按照操作指南的步骤进行操作,即可轻松完成。

单击“开始观察”的按键,从驱近样品表面到进行分析全过程实现自动。

无需切换至在线状态,即可对之前获取的图像进行确认。

通过丰富的图像显示、处理、分析功能,尽显完美的观察结果,并可进行定量分析显示。



观察位置简单明确



最多可同时显示8组画面,可以实时对形貌和无形等多组图像进行比较。


可以在一个以观察的较大的区域,通过自由导航功能引导进一步观察任何一个指定的特定区域。已保存的图像数据也可作为参照表示 。

观察结果简单明确


可以边观察边在在线画面上测定断面形状。

能够将之前的图像数据与观察中的图像数据同时显示比较。


丰富的扫描功能


通过观察到的图像数据的个点测定力曲线,能够观察出样品的机械特性和吸着力的分布。

可以针对样品的扫描方向、探针与样品间力、加载电压进行编程,并按设定要求进行观察。

满足所有要求的功能和扩展性

丰富的设定模式,不仅可以显示样品形状,更可获得反应电流、电位、硬度和粘弹性等样品表面物理信息的图像。

标配



接触模式
悬臂和样品保持接触,观察样品表面形状的一种模式

动态模式
悬臂在震动的状态下观察样品表面形状的一种模式

相位模式
动态模式的性能扩展,样品表面性质的差异会导致悬臂相位的延迟,由此观察表面物理信息的一种模式

水平力模式
检测悬臂的工作水平力(摩擦力)的一种模式
标配

选配



力调制模式
接触模式的性能扩展,观察样品表面物理信息的一种模式

力曲线模式
可以将悬臂与样品的作用力变化用图显示出

电流模式
测量悬臂与样品间流过的电流分布的一种模式

表面电位模式
观察样品表面电位分布的一种模式
选配



磁力模式
观察样品表面磁性信息的一种模式

矢量扫描模式
悬臂可在样品表面任意移动的功能

溶液中观察模式
使用培养皿,在溶液中观察样品表面

电化学反应的观察模式
使用电化学反应溶液池,观察反应下的样品表面
  接触模式AFM

云母的原子图像(使用充气平台)
 悬臂和样品始终保持接触,控制悬臂与样品之间的相互作用保持一定状态下,扫描样品表面的模式。这是最典型的AFM模式,可以得到目前最高分辨率图像。

  动态模式AFM


 悬臂在谐振频率附近震动。在悬臂震动的状态下悬臂接近样品时振幅会发生变化。利用这种现象,在保持振幅不变的状态下进行扫描,获得样品高度方向的变化数据。

蓝宝石的原子台阶
质粒DNA

  相位模式


 在动态模式扫描中,由于样品表面性质的差异会导致悬臂相位的延迟,据此可以图像化显示被测样品表面的物理性质差异。

高分子片晶 表面形貌像(左)/相位像(右)

  水平力(LFM)


 垂直于悬臂的长度方向的扫描,通过检测悬臂的弯曲量变化,可以检测样品表面受到的水平力(也叫摩擦力)的大小。

白金层 表面形状(左)/LFM像(右)

  力调制模式


 悬臂和样品的接触扫描过程中,悬臂周期性的压入样品,将产生的响应分离成振幅和相位后进行图像化,这样可以测量样品表面的不同物理性质并能进行图像化显示。

聚丙烯膜 表面形状像(左)/振幅像(右)


  力曲线模式


扫描中,悬臂和样品的距离在不断变化,可以用曲线表示悬臂的作用力变化

  电流模式


 接触模式扫描中,在悬臂和样品间加上一个偏压,就可以测量悬臂和样品间流过的电流。

碳电阻 表面形貌像(左)/电流像(右)


  表面电势模式(KFM)


 在导电悬臂和样品之间加上交流电压,可以检测出悬臂-样品表面间相互作用的电场力和样品表面的电势分布情况。

分散剤 表面形状像(左)/電位像(右)

  磁力模式(MFM)


 将磁化的悬臂离开样品表面扫描,检测出漏磁场与磁力,将样品的磁性化信息图像化。

软盘 表面形貌像(左)/MFM像(右)


  矢量扫描


可以针对样品的扫描方向、探针与样品间力、加载电压进行编程,并按设定要求进行观察。


硅基板上的金镀气层 表面形貌像(左)/KFM像(右)





  溶液中观察(培养皿型溶液池)


样品固定在培养皿的底部,探针在溶液中进行扫描,实现AFM在溶液环境下的观察。


亲水性高分子 大气中(左)/溶液中(右)






  电化学反应观察 (电化学反应溶液池)


 在电解溶液中通过电化学反应,使用AFM观察样品表面的变化。采用标准3电极(作用电极、对极、参照电极)。

铜板 表面形状像(左) /cyclic voltammetric 3次反复(右)






SPM的介绍












粒度分析软件(选配)

颗粒分析软件是在SPM-9700的图像数据中选取颗粒,针对每个颗粒计算其特征量,同时进行分析、显示以及统计时使用的软件。能够对以下丰富的特征量和计算出的各特征量的统计数据进行一览显示,可更换数据前后顺序并可以图形显示。


特征量

统计量

1重心X
16Z的平均值
2重心Y
17颗粒周边的Z的平均值
3绝对最大直径
18除去孔洞的面积
4宽度
19包含孔洞的面积
5水平费雷特直径
20表面积
6垂直费雷特直径
21体积
7圆相对半径(除去孔洞)
22方向
8圆相对半径(包含空洞)
232次元惯性力矩的主轴角度
9平均半径
24占有率
10平均半径的偏差
25面积率
11重心间的最小距离
26扁平率
12周长
27圆形程度
13颗粒圆周长
28凹凸程度
14Z的最大值
29针状程度
15Z的最小值




1平均
2标准偏差
3平均长度
4平均面积
5平均体积
6合计
7最大值
8最小值
9标记最大值
10标记最小值
11范围
12颗粒数


分析例



薄膜(□5μm)

大肠杆菌(□30μm)


选出颗粒·分类结果


选出颗粒·标记结果


平均半径的柱状图表示


绝对最大直径和针状程度相关的表示图

WET-SPM系列 选购件

温度湿度控制单元 | 吹起单元 | 样品加热冷却单元 | 样品加热单元 | 光照单元


温度湿度控制单元

可以安装在气氛控制腔体内,对腔体内的温度和湿度进行控制。

气体湿度控制器

FC膜的环境温度 湿度控制



低温

高温
可以观察到湿度变化能够引起树脂膜表面的形状变化。均为数nm程度的细微形状变化,湿度升高时出现均匀隆起,表面膨胀。


高分子膜



低温

高温


通过气氛温度湿度的控制可以捕捉到高分子膜的形状变化。

吹起单元


安装备用孔,对样品进行微量吹气。


镍表面的实时变化


对还原后的清洁表面(左)开始吹一氧化碳时,观察到由于羰基络合物的形成产生的形态变化(右)。

(日本物质工学工业技术研究所(当时)提供)

样品加热冷却单元


放置好样品后,能够对样品进行加热或冷却。

树脂 冷却观察

在粘性像中,可以观察到有差异的两相。

冷却至-30°C

冷却后,粘弹性的差异消失。

样品加热单元


放置样品,对样品进行加热。
大气状态下也可使用。

聚合物膜的加热观察


30°C

50°C

光照单元


可以在样品表面照射光纤灯的光。
不包含光源和光线灯。在大气环境中同样适用。


SrTiO3上并五苯薄膜进行紫外光照射观察


照射前照射
照射40分後
照射前
照射40分後


并五苯薄膜一层为1.6nm,2~3层将会形成簇状。用波长为365nm的紫外光照射时簇状会逐渐散开,40分钟后簇状薄膜基本消失。这期间几乎没有任何图像飘移,可以在同一视野范围内进行观察。